Beskrivelse

Semiconductor Strain Mauges: Oversigt og applikationer
Semiconductor Strain Gauges Leverage Piezoresistive egenskaber ved materialer somsiliciumellerGermaniumat måle belastning. I modsætning til traditionelle metalliske foliemålere tilbyder de signifikant højere følsomhed, men kommer med afvejninger i linearitet og temperaturstabilitet.

Sammenligning med metalliske foliemålere

Funktion	Halvledermålere	Metalliske folie målere
Følsomhed	Meget høj	Lavt moderat
Temperaturstabilitet	Dårlig (kræver kompensation)	God
Linearitet	Moderat (ikke -lineær ved høj belastning)	Fremragende
Holdbarhed	Skrøbelig	Robust
Koste	Høj	Lav

Funktioner

Høj følsomhed: Ideel til påvisning af små deformationer (f.eks. I MEMS -enheder eller biomedicinske sensorer).
Miniaturisering: Kan fremstilles ved mikroskala til integration i kompakte systemer (f.eks. Tryksensorer i smartphones).
Hurtig respons: Velegnet til dynamiske målinger med høj frekvens.
Lavt strømforbrug: Nyttigt i batteridrevne enheder.

Tekniske data
Halvledermåleregemaeregenskaber

Modelnummer	Syp -15	Syp -30	Syp -60	Syp -120	Syp -350	Syp -600	Syp -1000
Gage Modstand (ω)	15±5%	30±5%	60±5%	120±5%	350±5%	600±5%	1000±5%
Kode	B,C	B,C	B,C	A,B,C	B,C	C	C,D
konstruktion	0,F2,F3,F4,F5	0,F2,F3,F4,F5	0,F2,F3,F4,F5	0,F2,F3,F4,F5	0,F2,F3,F4,F5	0,F2,F3,F4,F5	C:0,F2,F3,F4,F5 D:0,F1,F3
K	100	100	120	A:150 B:120	150	200	C:200 D:150
TCR (%\/ grad)	0.10	0.10	0.15	0.13	0.30	0.45	C:0.40 D:0.30
TCGF (%\/ grad)	-0.12	-0.12	-0.18	A:-0.35 B:-0.18	-0.35	-0.48	C:-0.48 D:-0.35
Maksimal driftsstrøm (MA)	50	50	50	A:20 B:50	30	20	20
Silgrænser (Mε)	5000	5000	5000	5000	5000	5000	5000

Dimension

Halvlederstamningsmåler (uden substrat)
Kode	Konfiguration	størrelse (mm)	Gage modstand
A		1.27×0.22×(0.020~0.030)	15Ω,30Ω,60Ω,120Ω
B		3.8×0.22×(0.020~0.030)	15Ω,30Ω,60Ω,120Ω,350Ω
C		4.7×0.22×0.02	15Ω,30Ω,60Ω,120Ω,350Ω,600Ω,1000Ω
D		6×0.22×0.02	1000Ω
① Kobbertrådlængden af halvlederstamme Gage (uden substrat) er kortere end 6 mm; ② Den maksimale brugerdefinerede kobbertrådlængde er 12 mm.